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梅特勒-托利多產(chǎn)品在半導體行業(yè)中超純水的電導連續(xù)測量

梅特勒-托利多產(chǎn)品在半導體行業(yè)中超純水的電導連續(xù)測量

簡介

在半導體生產(chǎn)企業(yè)中,需要大量的超純水來清洗晶片。保證水純度的高質量對該行業(yè)來說非常重要,可以防止晶片上的超微結構被損壞。通常,需要控制水在18M?cm。通常通過電導率及溫度的控制來確保水的高純度。

晶片生產(chǎn)流程

晶片的生長


晶片的生產(chǎn)過程


晶片的包裝


測量難點

在今天,利用較高溫度的水來清洗晶片已經(jīng)成為一種發(fā)展趨勢,因為較高溫度的水在溶解雜質及油的能力相對有所提高。
在測量超純水的電導率時,為了得到精確的測量值,溫度是不可忽視的主要原因。因為超純水在800C 時的溫度系數(shù)為大約 3%/0C,這相當于溫度相差10C,電導率測量的誤差在3%左右。溫度的精確測量是保證電導率測量的前提之一。另外,正確的使用溫度補償也十分重要。

推薦系統(tǒng)
·傳感器:InPro7010電導傳感器
·變送器:7050電導變送器
傳感器液接部位采用鈦合金制成,耐高溫,并且內置溫度傳感器,可進行精確的溫度補償。

益處
整個系統(tǒng)安裝及操作簡便,測量精度高,價格實惠。
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